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6月1日。
滨海电视台外景记者汪冰冰,带着摄制团队,来到滨海芯片有限公司。
公司总经理吴雪,随同介绍。
汪冰冰询问道:“吴总,你们公司的稳态微聚束(ssb)极紫外光源设施,就是你在国际半导体论坛上,说的光刻机工厂吗?”
“没错!”
吴雪笑着点点头。
她带着汪冰冰等人,来到一处环形建筑前。
吴雪耐心介绍道:“你们眼前的环形建筑,就是稳态微聚束(ssb)极紫外光源设施,项目总建筑面积为125万平方米,周长148米。
它主要包括直线加器、波荡器、光束线、增强器、电子储存环、实验站等等。
位于源头的电子束,产生电子后,直线加到接近光,在波荡器里偏转出sr。
电子束团震荡过后,变成微聚束,长度缩的很短,更加聚集,还有相干性。
通过增强器,功率指数增加至上限。
电子束团进入电子储存环后,引入激光调制系统,加上扭摆磁铁,横向纵向下手调制,巧妙地把电子束更加完美地聚集在一起。
不断绕圈之后,强光呈现出微态。
其特性,简单来说,就是微聚束的相干辐射强光+存储环高重频。
稳态微聚束(ssb)极紫外光源设施,出的光源,相对好控制。
需要出强光时,就让微聚束出相干辐射,导出euv光源进行光刻……”
汪冰冰一行人,边参观边听介绍。
当众人来到增强器隧道后。
他们一眼望去,能看到里面排布着许多五颜六色,形状各异的“大家伙”。
吴雪的声音,不断响起。
“你们看到的大家伙,其实是磁铁系统,主要控制着电子的方向。”
“红色长方体状磁铁是二极铁,可以让电子‘转弯’。”
“蓝色的磁铁是四极铁,可以把‘想往外跑’的电子拉回来。”
“整个增强器区域元件数量多,真空连接段众多,排列紧凑。”
“其中,弧区包含磁铁、真空和束测设备等132个预准直单元以及128块二极磁铁,直线节包括注入引出设备、高频、磁铁、真空和束测设备等……”
听到一系列的介绍。
汪冰冰等人,都不明觉厉的点点头。
她询问道:“吴总,目前科学界探索的euv光刻机,主要有四种,分别是ssb、lpp、sr、srf-fel。
荷国阿斯麦尔公司,采用的是lpp模式,最终产生135n的euv光源,做出了euv光刻机。
ssb模式相比lpp更进一步,被称为未来euv光源,能够产生1n以下电子束。”
“是的!”
吴雪点头道:“阿斯麦尔公司,为了出货到各地的晶圆厂,把光刻机做成小型化,而我们直接打造大型的光刻工厂。
我们建设的‘环形建筑’,直接让光‘跑’起来。
其产生的光源,通过不断的筛选,可以得到28n、14n、7n、5n、4n、3n、2n、1n等不同规格的光束。
目前,我们的光刻工厂,已经能达到稳态的高功率光源,可以将电子加到接近光,产生产生波长短、功率大的光源,来提升芯片的制程工艺。”
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