督抚小说

山巍0113 5nm工艺制程 （第4页）

接下anj来是利用收集镜收集等离子体发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由anj曝光系统获取最anj终的ic晶圆。

但盛明安的团队没有做后而anj的两步，只设计了光源系统的实验设计。

一秒钟五万次的高频率，不仅需要确保过程不出anj错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最anj大化等等

所以一次的实验结果不能证明什anj么，他们连续实验多次，记录数据作比对，计算出anj一个最anj优概率。

键盘噼里啪啦的计算，所有人屏息以待。

助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊，龇牙咧嘴“giao怎么样了”

杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪“我不知道。”

助手姑娘又没想anj要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿防尘服的盛工就anj算从头包到脚还是无比帅气，所以快点告诉她结果吧

盛明安“各组报告结果。”

来了

众人振奋

一组报告“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2”

二组报告“散热系统启动散热功能正常”

三组报告“传感器反馈激光和液滴同步对准，激光等离子体在预估范围内捕获”

四组报告

随着一个又一个与仿真预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成

众人憋着一口气没出anj声，就anj等着盛明安总结。

盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我们的科研项目，激光等离子体极紫外光刻光源是――”

“135n”

原本想anj欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为自己anj的耳朵坏了，他们出anj现了幻听。

盛明安语气里流泻出anj轻松的笑意“恭喜大家。”

见众人没反应，他回头，疑惑“你们不满意吗”

林成建也懵了，小心翼翼地询问“盛工，你刚才说135n不是16n”

同盛明安争论了将anj近半个月早已震惊过的程院长anj好笑地环顾众人表现不一的样子。

雷客比林成建还小声轻柔“比aseuv的14n还精确了05n”

杜颂捂着心脏，喃喃说道“不是吧我整天研究的就anj是这么牛逼的玩意”

助理姑娘掐得更狠了，但杜颂激动的灵魂和兴奋的神经可以抚平身体的疼痛。

“啊，”盛明安下anj意识anj向陈惊g“你们都有异议吗”

陈惊g惊讶过后便是一笑“没有异议。他们惊喜过头了。”

盛明安又anj向林成建等人，谁知他们而anj而anj相觑，陷入沉默，一秒、两秒、三秒“啊啊啊啊――”

猛然爆发的尖叫声继续震破实验室的天花板，要不是固化玻璃隔绝了噪声污染不会anj影响到实验室设备，热实验室设备的盛明安就anj该拉下anj脸，而anj负责掏钱买设备的陈惊g应该会anj冷脸赶人出anj去了。

但无伤大雅的此刻，他们纵容每一个团队成员尽情放纵无以言表的兴奋和激动。请牢记收藏，网址最新最快无防盗免费阅读

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